クリーンルームに関する説明
クリーンルームは空間の浮遊微粒子や浮遊微生物が指定された清浄度以下に管理されている限られた空間を指し、一般的に部屋やブースなどで区切られています。
大規模なものでは建屋そのものがクリーンエリアとして管理されていることもあります。清浄度の指標としては、どの程度の塵埃を許容するかが決められており、例えばＦＥＤ－ＳＴＤ－２０９Ｄ規格では１フィート立方中に０．５ミクロン以上の微粒子数に応じてクラス100、クラス1000などの分類で表されます。
また、このような供給される空気だけではなく、純水や薬品の純度、あるいは温度や湿度などの室内環境が同時に管理されている場合がほとんどです。
現状ではクリーンルームには2種類の用途が存在しており、粉塵汚染を対象とした工業用と、微生物などによる汚染を対象とした食品・医療用のように区別されています。
工業用途用では、半導体ウェハや液晶パネルの製造工場で利用され粉塵による電気回路のショートなどを防ぎ製品の歩留まりを向上させることを目的としています。
一方、食品・医療途用では粉塵に付着した微生物を取り除き除菌・滅菌する衛生面での品質確保が目的とされています。
また、クリーンルームの清浄度管理では、機械設備の導入だけではなく入退室や清掃のルールなどその運用方法も重要な課題とされており、これを補助するためのクリーンウェハやクリーンペーパーなどのクリーンルーム専用の用具も広く活用されています。
クリーンルームには種類があります
クリーンルームとは、空気中のゴミや細菌の数、温度や湿度の室圧といったものが管理された部屋のことをいいます。
たとえば、こういった部屋の利用というのは、小さなほこりの付着も許されない半導体の製造や、細菌の繁殖が品質に影響を及ぼす食品加工などの製造工場に使われることがあります。大きさというのも簡易タイプの省エネ型のクリーンルームといった小規模なものから、大規模な大型クリーンルームがあります。
現在では、簡易タイプをオーダーで作ってくれる会社もあります。
簡易タイプも方式の種類があり、比較的洗浄度の高くないものでは、設備コストやスペースを取らない「室内パッケージ乱流方式」があります。この方式は、パッケージエアコンのファンを高静圧化する事により、上部のＨＥＰＡフィルターを通した空気が循環させます。
ほかにも、最も普及している方式なら、設備コストも安く管理も容易なことで知られているのが「天井ダクト乱流方式」です。天井から下方に吹出し循環させる方式で、各々の吹出し口のフィルターボックスにＨＥＰＡフィルターが入っているのが特徴です。
「ライン式ダクト層流乱流方式」では、室内パッケージ乱流方式にライン式ダクトを追加することで、クリーンルーム内の清浄度を更に向上できるタイプとして、設備コストを安く抑えながら、清浄度を容易に向上できます。
簡易タイプは洗浄度が低めですが、扱いやすく、コストなども安いです。大型のものは高度な清浄度が保てる反面、コスト高で管理が大変といったことがあげられます。
種類が複数ありますが、それぞれの用途に合った利点を考えた設置がおすすめです。
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最終更新日:2022/6/15
『クリーンルーム 種類』
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